瑞思杰尔 RSG6000射频电源说明书2015.pdf

常州瑞思杰尔电子科技有限公司 操作手册 RSG6000 射频电源 设备标识： 联系方式 公司地址：江苏省常州市新北区高新科技园2 号楼A307 公司网站： 电子邮箱：rishige@163.com 电话：0519 传真：0519 技术支持：0519 Copyright@2010-2030Rishigecorporation. Allrights reserved 常州瑞思杰尔电子科技有限公司 一．简要描述 RSG6000 射频电源产品广泛应用于等离子清洗、蚀刻、射频溅射、ICP、CVD、PVD 以及激光等领域。可替代电子管电源以提高可靠性，也可替代进口射频电源，降低系统设备 的成本。该产品有以下特点： ● 设备采用全固态、风冷设计，小尺寸、长寿命。 ● 经过特殊设计的功率采样电路能够在整个动态范围内精确地测量出正向和反向功 率，使显示的精确度达到一个很高的水平。 ● 结合具有专利技术的功率闭环控制电路，电源输出非常稳定。即使在运行中负载阻 抗有小范围的波动，电源的输出也能够快速跟随用户的设定值，保证了工艺流程的 稳定性和重复性。 ● 设备使用VFD 数字显示，显示内容丰富、直观。 ● 设备具有过流、过压、过热，反射过大四种故障保护，并通过LED 显示相应的故 障信息。 二.技术指标： 设备供电：AC380V，50Hz ，25A,3相5 线 “Y”星型接法。 输出额定功率：6000W （50Ω） 输出频率：13.56MHz±0.005% 输出功率调节范围：0-6000W 功率设定和实际输出误差:50W （50Ω） 输出功率稳定度：±2.0% 冷却方式：水冷 显示内容：控制模式、设定功率、正向功率、反向功率、输出状态、故障状态。 故障保护：过流、过热、反射过大。 二次谐波输出：≦-40dB 射频输出端口：L29 三：设备电路框图： Copyright@2010-2030Rishigecorporation. Allrights reserved 常州瑞思杰尔电子科技有限公司 四．设备安装尺寸： 设备在安装时四周通风孔距离控制箱体的距离要保证大于5Cm，以保证有足够的进风 量供射频电源散热，并在通电前确认匹配器、负载与射频源之间已可靠连接，否则可能会 造成射频源散热不良及反射功率太大而损坏功率器件！！！ 五．设备前面板功能说明 六：设备后面板功能说明 Copyright@2010-2030Rishigecorporation. Allrights reserved 常州瑞思杰尔电子科技有限公司 七：REC （模拟）控制模式说明： 在REC 模式下用户通过射频源后面板的DB15 阴性接口对射频源进行操控。 DB15 阴性接头Pin 位示意图： DB15Pin 功能定义： Copyright@2010-2030Rishigecorporation. Allrights reserved 常州瑞思杰尔电子科技有限公司 DB15Pin 用户接线示意图 Copyright@2010-2030Rishigecorporation. Allrights reserved 常州瑞思杰尔电子科技有限公司 八：设备常见故障排除 故障现象