瑞思杰尔 PSG-IAS 中文版.pdf

操作手册 PSG-IAS 自动匹配器 设备标识： 联系方式 公司地址：江苏省常州市新北区高新科技园2号楼A307 公司网站： 电子邮箱：rishige@163.com 电话：0519 传真：0519 技术支持：0519 0 目 录 一．概述…………………………………………………………………2 二．基本原理 ……………… …………………………………………2 三．技术参数……………………………………………………………2 四．系统连接……………………………………………………………3 五．功能说明……………………………………………………………3 5.1 左侧面板示意图 ……………………………………………… 3 5.2 前面板示意图 ………………………………………………… 4 六．安装尺寸图 …………………………………………………… 5 七．输出到负载的连接 …………………………………………… 5 八．使用注意事项 ………………………………………………… 6 1 一.简要技术特点描述 射频自动匹配器的功能就是将用户的放电负载通过匹配器电路自动地变换为 标准的50Ω阻抗，使得射频电源的能量最大限度地传输到用户负载上，维持一个高 质量的、稳定的放电状态。我司自动匹配器具有如下设计特征： ●匹配时间：小于3秒。 ●特有的V-F 电机控制电路设计，使匹配器具有极高的灵敏度。在工作过程中，即 使微小的负载变化，匹配器也能自动跟踪。 ●“遇极限即反向”的电机控制设计，使电容器无论处在任何初始位置，都能精确 地找到匹配器点。 ●特有的“HOLD”工作模式，使匹配器的匹配时间大大缩短，适用于高速自动化生 产线上，提高生产效率。 ●特有的“幅度、相位同步采样保持”设计。即便匹配器工作在脉冲调制状态下， 依然能获得同连续波状态相近的灵敏度和匹配速度。 二.基本原理 匹配器有一个内部的耦合检测电路，当感应到射频输入时会检测出幅度和相位 与50Ω之间的偏差值，用这两个偏差值分别控制2个电机拖动2个可变电容，改变 其容值，直至幅度和相位偏差为0，电机停止转动，匹配完成。简图如下： 三. 技术参数 1. 设备供电：200-240V,50Hz,@1.5A 2. 输入接口：L16(N)-50KF 3. 输出接口：铜排或L29(N) 4. 冷却方式：风冷 5. 最大输入: 750W 6.工作频率: 13.56MHz 7.产品重量：8.5 KG 2 四.系统连接 五.功能说明 5.1左侧面板示意图： （1）射频功率输入端口；通过射频电缆连接到射频电源的输出端。 （2）控制端口；通过DB25控制电缆连接到射频电源的“Matching”端口。 3 （3）拨码设置开关； 拨码设置开关功能说明： 1 ON;匹配器的电容初设值由位置 （6）的2个电位器调节设置。 1 OFF;匹配器的电容初设值射频电源的“Matching”端口输出控制信号。 2 ON;匹配器开启“hold”模式，当射频功率开启时自动匹配，射频功率关闭 时，不回到初始值；下次在开启时，从上次匹配器停止的位置开始匹配。（hold 模式式的设计，用于射频功率开启频繁切负载容易辉光的工况，可以节省匹配 时间，减小匹配器的转动频次，延长机械传动机构的寿命.） 2 OFF; 匹配器关闭“hold”模式。当射频功率