薄膜干涉-等厚条纹.pptxVIP

1; 当 i 保持不变时，光程差仅与膜的厚度有关，凡厚度相同的地方光程差相同，从而对应同一条干涉条纹---;为此，明纹和暗纹出现的条件为：;二、劈尖膜;2.明暗条纹条件;（2）相邻明（暗）纹对应薄膜厚度差：;4.条纹变化;应用1:测量微小直径，厚度; 例1 在半导体元件生产中，为了测定硅片上SiO2薄膜的厚度，将该膜的一端腐蚀成劈尖状，已知SiO2 的折射率n ，用波长? =5893埃的钠光照射后，观察到劈尖上出现9条暗纹，且第9条在劈尖斜坡上端点M处，Si的折射率为。试求SiO2薄膜的厚度。;应用2:检测工件平面的平整度;例2 利用空气劈尖的等厚干涉条纹可以检测工 件表面存在的极小的加工纹路， 在经过精密加工的工件表面上放一光学平面玻璃，使其间形成空气劈形膜，用单色光照射玻璃表面，并在显微镜下观察到干涉条纹，;解:如果工件表面是精确的平面,等厚干涉条纹应该是等距离的平行直条纹，现在观察到的干涉条纹弯向空气膜的左端。因此，可判断工件表面是下凹的，如图所示。由图中相似直角三角形可: ;所以: ;;2.明暗纹条件;4.明暗纹半径;;应用：测量透镜的曲率半径;谢 谢