第1章_传感器的技术基础.pptVIP

2.传递函数 对上式求拉氏变换 传递函数 结论： 传递函数 是描述传感器本身传递信息的特性， 条件是： 1.4 传感器的特性与技术指标 特性 1.4.1静态特性 1.线性度（非线性误差） 1）定义：传感器输出量与输入量之间的实际关系曲线偏离直线的程度 2）表示 : 图1-5 图1-5 传感器的线性度 a) b) c) d) 3）对非线性的处理方法 2.灵敏度 1）定义：传感器在稳态下输出增量与输入增量的比值。 a.线性传感器——静态特性的斜率 图1-6 a） b.非线性传感器——随工作点改变的变量 图1-6 b） 2）计算： a） b） 图1-6 传感器的灵敏度 3.重复性 1）定义：传感器在输入量按同一方向作全量程多次测量时，所得特性曲线不一致的程度。 图1-7 图1-7 传感器的重复性 2）不重复的原因：传感器的机械部分的磨损、间隙、松动，部件的内摩擦、积尘，电路元件的 老化、工作点漂移等 3）不重复性极限误差： 4.迟滞现象 1）定义：传感器在正向行程（输入量增大）和反向行程（输入量减小）期间，输出—输入特性曲线不一致的程度。 图1-8 y d y i ? m 图 1 - 8 传感器的迟 滞现象 2）滞环误差：在行程环中同一输入量 对应的不同输出量 的差值 ①最大滞环误差：用Δm表示 ②最大滞环率 ： 最大滞环误差与满量程输出值的比值，即 ③产生滞环的原因：（与重复误差相似） 5.分辨率 定义：在规定测量范围内所能检测的输入量的最小变化量。 也可：用该值相对满量程输入量的百分数表示 6.稳定性 分类 长期稳定性： 在室温条件下，经过相当长的时间间隔，传感器的输出与起始标定时的输出之间的差异。 也可：用不稳定度表示。 7.漂移 1)定义： 指在外界的干扰下，输出量发生与输入量无关的不需要的变化 2)分类 时间漂移： 在规定的条件下，零点或灵敏度随时间的缓 慢变化。 温度漂移： 环境温度变化而引起的零点或灵敏度的变化 1.4.2动态特性 分析方法 （特性） 1.阶跃响应特性 单位阶跃函数： 图1-9 (1)最大超调量 (2)延迟时间 (3)上升时间 (4)峰值时间 (5)响应时间（过渡过程时间） 2.频率响应特性 频率响应曲线： 给传感器输入各种频率不同而幅值相同，初相位为零的正弦信号，其输出的正弦信号的幅值和相位与频率之间的关系 。 即：令σ=0，s=jω,将H（s）变为H（jω）即可。 例：P10 1.5 传感器的材料与制造 1.5.1传感器的材料 1.半导体材料——硅材料（优点： ） (1)单晶硅 特点： 优良的力学性能和电学性能。 用于： 硅压阻式集成压力传感器、硅电容式集成压力传感器、硅谐振式集成压力传感器、光入—光出硅谐振式传感器、硅加速度传感器。 (2)多晶硅 特点： 多晶硅压阻膜的应变灵敏度比单晶硅膜低，但比金属高一个数量级，可抑制零漂。 用于： 低温漂传感器 (3)非晶体硅 特点： 在可见光范围内有高的光吸收系数，可大面积喷镀 用于： 光传感器、成像传感器、高灵敏度的温度传感器、微波功率传感器、触觉传感器。 (4)硅蓝宝石 材料： 是在蓝宝石衬底上外延生长形成的硅薄膜。 特点： 机械强度是晶体硅的2倍多，蠕变小，耐辐射能力强。 用于： 300℃以下的性能稳定的传感器 (5)化合物半导体 用于：先进的成像传感器（探测器） 特点：在制冷条件下使用，制冷温度一般为77K 2.陶瓷材料 特点： 耐热性、耐腐蚀性、多孔性、光电性、介电性、压电性 用于： 温度、气体、湿度、光电、离子、超声、加速度、力、陀螺传感器。 3.石英材料 材料： 是各向异性材料，材质轻，密度