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光学投影平版印刷与光致抗蚀剂 三、化学增幅抗蚀剂 ●光致产酸剂—— 光学投影平版印刷与光致抗蚀剂 三、化学增幅抗蚀剂 ●光致产酸剂—— 苯环被稠环替代； 产酸效率 光学投影平版印刷与光致抗蚀剂 三、化学增幅抗蚀剂 ●抗蚀剂的配制工艺 配方（1）组成： 成膜树脂 100% N-羟基马来海松酸酰亚胺磺酸酯产酸剂 5% 乙二醇单乙醚 适量 制作工艺：将配方量的成膜树脂和产酸剂加入计算量的乙二醇单乙醚中，搅拌溶解为溶液。待其充分溶解后，过滤；将适量滤饼离心旋涂于石英片上；将涂敷抗蚀剂的石英片置于100℃烘烤箱中，烘烤2min;膜厚约0.4-0.6μm。用所需紫外曝光光源测定该树脂模的紫外吸收光谱； 光学投影平版印刷与光致抗蚀剂 三、化学增幅抗蚀剂 ●抗蚀剂的配制工艺 配方（2）组成： 酰胺，酰亚胺共聚成膜树脂 ：