大功率半导体激光器及其应用.ppt

耦合效率理论计算曲线 影响耦合效率的因素： 调整精度、光纤端面的加工精度等工艺因素。 激光器的近场宽度，光纤的数值孔径。 在发光区不变的情况下， 光纤数值孔径的减小耦合效率迅速降低。 大功率LD在垂直于pn方向的近场宽度很小，因此LD与多模光纤的直接耦合效率较低。 （2） 光纤微透镜直接耦合 采用一定加工工艺把光纤端面制作成一定大小和形状的微透镜，直接对向大功率半导体激光器的发光面，使半导体激光器的光束高效耦合进光纤中。常用的光纤微透镜形式有半球形、圆锥形、锥端球面形、椭双曲面形、楔形等。 特点：光纤微透镜的尺寸不大于光纤直径，相比分立微光学元件构成的光学耦合系统，光纤微透镜直接耦合有着灵活方便，易于集成封装，制作效率高等优点。 广泛应用于光纤与光源、放大器、DWDM模块、泵浦光源等耦合中。 典型的透镜光纤耦合系统 透镜光纤的加工方法 （a）蚀刻法 （b）熔拉法 （c）研磨抛光法 （d）激光切削法 研磨法加工的光纤微透镜实例 6.1.2 间接耦合 由分立微光学元件构成的光学耦合系统： 球透镜 柱透镜 自聚焦透镜 双曲面透镜 组合透镜 特点是可以最大限度地降低反射损耗、消除像差的影响、改善光束非圆对称性，实现高效率的耦合。 （1）微柱透镜的光纤耦合 利用圆柱微透镜对半导体激光器光束进行准直或聚焦提高光纤耦合效率 通常采用一段大数值孔径的光纤代替圆柱微透镜，制作简单、成本低廉。 利用圆柱透镜光纤耦合原理示意图 （2）自聚焦透镜光纤耦合 自聚焦透镜Grin Lens：又称为梯度变折射率透镜，是指其折射率分布是沿径向渐变的柱状光学透镜。具有聚焦和成像功能 利用自聚焦透镜光纤耦合原理示意图 （3）双曲面微透镜的光纤耦合 为了提高耦合效率不仅需要对LD输出光束快轴方向进行聚焦准直，有时还需要对慢轴方向准直聚焦。 一种具有双曲率半径结构的微透镜，可对半导体激光器输出光束的快轴和慢轴同时聚焦，并与多模光纤耦合。 双曲面透镜结构示意图 双曲面透镜耦合原理 （4）组合透镜光纤耦合 利用组合透镜光纤耦合示意图 各种耦合方法的比较 自聚焦透镜和圆柱透镜结构最简单、调整方便，但耦合效率相对比较低； 组合透镜方法效率比较高，但结构复杂，调整比较困难。 双曲面透镜法，结构简单调整方便，耦合效率高。其缺点是双曲面透镜制作比较困难，成本高。 6.2 多光束光纤耦合技术 将多个激光二极管或激光二极管阵列的输出光束耦合进光纤中－多光束耦合技术。 基于激光二极管列阵的多光束耦合技术 基于多只单管串联的多光束耦合技术 6.2.1 基于激光二极管列阵的多光束耦合 由于激光二极管列阵上的发光单元本身发光区几何尺寸的不对称，并且在平行pn结方向上集成了数十个发光单元，激光二极管列阵的输出光束在垂直pn结方向(快轴方向)的光束质量因子和平行pn结方向(慢轴方向)的光束质量因子相差很大。因此，必须采用光束整形技术对光束进行对称化处理。 光纤列阵耦合方法 微光学系统耦合方法 （1）光纤列阵耦合方法 光纤列阵耦合方法是通过微光学系统将激光器列阵各发光单元与数目相同的光纤列阵一一对准、耦合，在光纤另一端集束输出。 特 点 光纤列阵耦合方式中，光纤列阵需要精密排列，排列周期应等于激光二极管列阵的单元周期，因此需要加工特殊设计的精密V形槽或U形槽列阵，用以排列固定光纤列阵。 优点：耦合光纤系统相对简单，成本低。 缺点：光纤束直径较大，功率密度较低。 （2）微光学系统耦合方法 微光学系统耦合方法是通过微光学系统(微透镜、微棱镜列阵等)对光束进行整形、变换，再通过非球面透镜聚焦耦合到单根光纤中。 常用耦合方法 微透镜阵列耦合 微棱镜列阵耦合 阶梯式微型反射镜耦合 光纤耦合微透镜光学组件 德国LIMO公司生产的BTS和HOC透镜组 BTS结构示意图 微棱镜列阵耦合 阶梯式微型反射镜耦合 特 点 这些方法通过微透镜、微棱镜列阵等，对光束进行整形、变换，将列阵器件中各发光单元的输出光束变换为平行光束，再通过非球面透镜聚焦耦合到单根光纤中。 然而，像微棱镜、微阶梯平面镜等光学系统的调试都比较复杂，实际应用比较困难。 高功率光纤耦合模块 6.2.2 基于多只单管串联的多光束耦合技术 采用多光束耦合技术的另一条技术途径就是利用多只单管芯器件串联，通过光学系统将多路光束合束并耦合到单根纤中输出。采用这种方法输出光纤芯径，亮度高，光束质量好。 由于采用串联工作的方式，因此工作电流比较小（一般几个安培），供电和散热比较容易，通过小型化设计的光纤耦合模块适合应用于特殊环境下的野外工作，特别是在激光驾束制导，激光夜视等军事应用领域具有广阔的应用前景 。 多光束合束方式 从理论上讲，所有的非相干多光束合束，根据所遵循的基本物理原则主要有三种方式： 空