年产xxx吨高性能靶材项目方案【参考范文】.docx

泓域咨询/年产xxx吨高性能靶材项目方案  年产xxx吨高性能靶材项目 方案 xxx集团有限公司  报告说明 提高靶材的密度有助于减少毒化现象，并降低电阻率，提高靶材的使用寿命。毒化是指溅射过程中ITO靶材表面出现凸起物的结瘤现象，毒化会导致靶材溅射速率降低，弧光放电频率增加，所制备的薄膜电阻增加，透光率降低且均匀性变差，此时必须停止溅射，清理靶材表面或更换靶材。高密度ITO靶材具有较好的热传导性和较小的界面电阻，不易在溅射过程中发生热量蓄积，可减少毒化概率。因此，高密度化成为ITO靶材的技术发展趋势。 根据谨慎财务估算，项目总投资30750.57万元，其中：建设投资25463.83万