泓域咨询/负性光刻胶项目可行性分析报告
负性光刻胶项目
可行性分析报告
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目录 TOC \o 1-3 \h \z \u
第一章 项目总论 10
一、 项目名称及投资人 10
二、 编制原则 10
三、 编制依据 11
四、 编制范围及内容 12
五、 项目建设背景 12
六、 项目建设的可行性 13
七、 结论分析 14
主要经济指标一览表 16
第二章 项目背景分析 19
一、 光刻工艺的影响因素 19
二、 光致产酸剂(Photo-AcidGenerator,PAG) 20
三、 DUV光
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