ITO薄膜基础知识分析.pdfVIP

薄膜根底知识 一、薄膜的概念 薄膜是 的缩写。作为纳米铟锡金属氧化物，具有很好的导电性 与透明性，可以切断对人体有害的电子辐射，紫外线及远红外线。因 此，喷涂在玻璃，塑料及电子显示屏上后，在增强导电性与透明性的 同时切断对人体有害的电子辐射及紫外、红外。是一种 N 型氧化物 半导体-氧化铟锡薄膜即铟锡氧化物半导体透明导电膜,通常有两个性 能指标:电阻率与透光率. 二、薄膜的应用 薄膜具有优良的光电性能,对可见光的透过率达95%以上,对红外 光的反射率70%,对紫外线的吸收率≥85%,对微波的衰减率≥85%,导 电性与加工性能极好,硬度高且耐磨耐蚀,因而在工业上应用广泛,在 高技术领域中起着重要作用。主要用途有: 〔一〕用于平面显示 薄膜的透明导电性及其良好的电极加工性能,所以它作为液晶显 示器用的透明电极获得高速开展,约占功能膜的50%以上,例如液晶显 示()、、电致发光显示()、电致彩电显示()等。随着液晶显示器件的大 面积化、高等级化与彩色化将超过 成为显示器件中的主流产品。因 而 薄膜主要用于高清晰度的大型彩电、计算器、计算机显示器、液 晶与电子发光屏幕等。 〔二〕用于触摸屏 目前市场上，使用材料的电阻式触摸屏与电容式触摸屏应用最为 广泛。 1、电阻式触摸屏 第 1 页 薄的透明性好，但是阻抗高；厚的材料阻抗低，但是透明性会 变差。在聚脂薄膜上沉积时，反响温度要下降到150度以下，这会导 致氧化不完全，之后的应用中会暴露在空气或空气隔层里，它单位面 积阻抗因为自氧化而随时间变化。这使得电阻式触摸屏需要经常校 正。电阻式触摸屏的多层构造会导致很大的光损失，对于手持设备通 常需要加大背光源来弥补透光性不好的问题，但这样也会增加电池的 消耗。电阻式触摸屏的优点是它的屏与控制系统都比拟廉价，反响灵 敏度也很好。 2、电容式触摸屏 电容式触摸屏也需要使用材料，而且它的功耗低寿命长，自从推 出后，友好人机界面、流畅操作性能使电容式触摸屏受到了市场的追 捧，各种电容式触摸屏产品纷纷面世。而且随着工艺进步与批量化， 它的本钱不断下降，正逐步取代电阻式触摸屏。 外表电容触摸屏的涂层通常需要在屏幕的周边加上线性化的金 属电极，来减小角落/边缘效应对电场的影响。有时涂层下面还会有 一个屏蔽层，用来阻隔噪音。外表电容触摸屏至少需要校正一次才能 使用。 感应电容式触摸屏与外表电容触摸屏相比，可以穿透较厚的覆 盖层，而且不需要校正。电容式触摸屏技术是利用人体的电流感应进 展工作的。电容式触摸屏是一块四层复合玻璃屏，玻璃屏的内外表与 夹层各涂有一层，最外层是一薄层矽土玻璃保护层，夹层涂层作为工 作面，四个角上引出四个电极，内层为屏蔽层以保证良好的工作环境。 代表产品就是苹果、 与系列产品，拥有其他产品难以超越的非凡触 控体验。 第 2 页 〔二〕用于交通工具风挡 薄膜能除雾防霜,是一种典型的透明外表发热体,可以用作汽车、 火车、电车、飞机等交通工具的风挡,用于陈列窗、溜冰眼镜、双引 自行战车及医疗喉镜。还可以用作烹调用加热板的发热体,也可以用 于炉门、冷冻食品的显示器及低压钠灯等。 〔三〕用于太阳能方面 薄膜用于异质结太阳能电池顶部氧化物层,可以得到高的能量 转换效率,例如2太阳能电池可以产生13%～16%的转换效率。玻璃还 可以用于太阳能电池的反射涂层以及用于异质结型基太阳能电池的 透明电极。具有电致变色()的灵巧窗的典型构造是在普通白玻璃上沉 积多层膜,其内外层为膜。研究说明玻璃可使建筑物内暖气、冷气与 照明等能耗减少50%以上。 〔四〕用于微波屏蔽与防护镜 薄膜有良好的微波屏蔽作用,能防静电,可用于屏蔽电磁波的地 方,如计算机房、雷达的屏蔽保护区,甚至可用于防雷达隐形飞机上。 茶色薄膜是铟、锡氧化物的新品种,它能防紫外线与红外线,滤去对人 体有害的紫外波段,因此镀膜的玻璃镜片可作特殊防护镜。 三、薄膜的主要制备方法 导电薄膜是用物理的或化学的方法在基体外表上沉积得到。基体 材料一般采用玻璃，如采用低温溅射工艺制备这种薄膜，基体也可以 采用塑料等聚合物材料。基体的热