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第六章 微带线
6.1 微带线及制造工艺
为适应微波电路体积小、重量轻、性能可靠的要求:新型导波系统。
微带线可以认为是由平行双线演变而来。
微带线广泛应用于混合微波集成电路(Hybrid microwave integrated
circuits, HMIC)和单片微波集成电路(Monolithic microwave integrated
circuits, MMIC)。
E
B
(a) (b)
2012. AUTUMN VERSION
©2012 by Y. J. FENG
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制造微带线常采用印刷电路板PCB或薄膜技术(Si,GaAs集成电路
MMIC),薄膜技术的主要工艺过程为:1.基片处理 2.蒸发镀膜 3.光刻
腐蚀 4.电镀
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Example of a GaAs MMIC (2-
18GHz upconverter)
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6.2 微带线的工作波型和准静态分析法
微带线是双导体系统,如无介质填充,则它可以传播TEM波。
当有介质存在时,由于要满足介质空气界面上的边界条件,它传播的是
电场和磁场纵向分量都不为零的混合波。
由于微带线的场能集中在介质区域,纵向场分
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