溅射式谐振式电容式压力传感器.pptxVIP

会计学; 主要技术特点 薄膜技术代替粘贴传感器中的粘贴工艺, 消除了胶的影响，无蠕变、不老化。 耐蚀不锈钢与被测量介质直接接触，无须灌充油隔离。 弹性体和应变电阻材料都是金属材料, 温度特性好,传感器工作温度范围宽。 耐强腐蚀。 产品体积小，功耗低，响应速度快。;通用溅射薄膜压力传感器;第3页/共25页;第4页/共25页;高温压力传感器;低温压力传感器 ;压力温度一体化传感器 ;差压传感器 ;绝压传感器 ;厚膜压力传感器; 抗腐蚀的陶瓷压力传感器没有液体的传递，压力直接作用在陶瓷膜片的前表面，使膜片产生微 小的形变，厚膜电阻印刷在陶瓷膜片的背面，连接成一个惠斯通电桥(闭桥)，由于压敏电阻的压阻 效应，使电桥产生一个与压力成正比的高度线性、与激励电压也成正比的电压信号，传感器自带温度补偿0～70℃，并可以和绝大多数介质 直接接触。 ;第12页/共25页; 微机械氮化硅谐振梁式压力传感器由包含氮化硅梁谐振器的上硅片和作为压力膜的单晶硅下硅片组成。二者通过硅硅键合成一整体。氮化硅梁封装于真空(10-3 Pa ,绝压传感器)或非真空(差压传感器) 之中,硅膜另一边接待测压力源。 膜四周与管座刚性连接,可近似看成四边固支矩形膜。当压力作用于压力膜时,膜两端存在压差,膜感受均布压力P ,将发生形变,膜内产生应力。与膜紧贴的梁也会感受轴向应力,这个应力将改变梁的固有谐振频率。在一定范围内,固有谐振频率的改变与轴向应力以及外加压力三者之间有很好的线性关系。因此,通过检测梁的固有谐振频率,就可达到压力检测的目的。 为了测定谐振频率,通常对梁施加交流激振信号,使梁作受迫振动,并检测梁的振动信号(称为拾振) 。谐振式压力传感器的激振方式有以下几种:静电激振、电热激振、光热激振、电磁激振、压电激振等,相应的有静电(电容) 拾振、压阻拾振、光学拾振、电磁拾振、压电拾振等拾振方式。 ;第14页/共25页;第15页/共25页;谐振式压力传感器;第17页/共25页;第18页/共25页;第19页/共25页;特 点;产品介绍;电容压力/差压变送器 ;安装方法 差压变送器如果直接安装在测量点上，可由连接管支撑，也可以安装在表盘上或者用安装支架把它安装在2″管子上。为了确保接头的密封，在密封时应按下面的步骤操作；在紧固两只螺栓时，应交替用扳手拧紧，其最后拧紧力大约为40N.m切勿一次拧紧一只螺钉 。有时为了安装上的方便变送器本体上的压力容室可转动。只要压力容室处于垂直面，则变送器本体的转动不会产生零位的变化。如果压力容室水平安装时，必须消除由于引压管高度不同而引起的液柱压头的影响，即重调变送器的零位。变送器可借助三种安装板中的一种，安装在墙上或50mm-60mm的管道上，安装时只要使变送器表面垂直地面，这时变送器不论作任何位置变化，都不会引起零位漂移。若不能保持变送器垂直时，会引起零位的微小变化，但在变送器安装固定后，重新检查和调整零位，仍可达到规定的精度。;第24页/共25页