半导体划片机产业园项目可行性研究报告【参考范文】.docx

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泓域咨询/半导体划片机产业园项目可行性研究报告 半导体划片机产业园项目 可行性研究报告 xxx投资管理公司 报告说明 超薄金刚石划片在较长一段时期内仍为主流切割方式,激光切割难以成为主流。晶圆切割方法主要有机械切割(划片刀切割)、激光切割。划片刀切割是当前切割晶圆的主力,主要由于:(1)激光切割不能使用大功率以免产生热影响区(HAZ)破坏芯片;(2)激光切割设备价格依然很高,核心零部件激光头的价格昂贵,单个激光头的价值高达十万美元以上,其寿命通常在两年内,折算到切割每颗芯片的成本要比刀片切割的成本高得多;(3)激光切割不能做到一次切透(因为HAZ问题),因而第二次切割还是用划片刀来

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