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GV80和GXS160干泵气体吹扫模块应用指南
--针对东富龙客户应用
2
吹扫功能的意义
①清洗真空泵腔内残留的工艺气体或表面粘附的物质。
②冷却真空泵内部组件。
③对轴封进行密封，防止被污染。
注意：
只有全程连续吹扫才能实现上述功能，如果在工艺生产过程中关闭吹扫，
气体返流反而会损坏泵体密封部
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