利用反射椭偏仪测量折射率和薄膜厚度.pdfVIP

利用反射椭偏仪测量折射率和薄膜厚度 系别：物 理 系 班号：2001 级1 班 姓 名：李 琛 作实验日期：2004 年12 月9 日 学号 教师评定： 实验目的 1. 掌握测量金属折射率即薄膜厚度的方法； 2. 学习椭圆测量的基本原理和基本方法。 实验仪器 o 1．仪器TP－77 型椭圆偏振检测仪。采用波长为6328A 的He－Ne 激光器作为 单色光源。入射角和反射角可在0－90°内自由调节。该仪器的样品台可绕铅垂 轴转动，其高度和水平可调。挨着检偏器有一窗口，窗下有一转换旋钮。可以改 变旋钮位置，使经过检偏器的光或者射向观察窗或者射向光电倍增管。为保护光 电倍增管，应该使旋钮经常处于观察窗的位置。只有当观察窗中光线变得相当暗 时才能进一步利用光电倍增管和弱电流放大器来判断最佳消光位置。 2．样品 本实验待测样品有两种：1.在硅衬底上生成的SiO2 膜；2.镀金表面膜。 实验原理 （一） 反射系数比（仅考虑与本实验有关的两种情况） 1.光在两种均匀、各向同性介质分界