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精品课件资料 8.1 XPS的基本原理 与氧化态关系 * 精品课件资料 8.2 光电子能谱仪实验技术 8.2.1 光电子能谱仪的结构 电子能谱仪主要由激发源、电子能量分析器、探测电子的监测器和真空系统等几个部分组成。 * 精品课件资料 8.2 光电子能谱仪实验技术 电子能谱仪通常采用的激发源有三种：X射线源、真空紫外灯和电子枪。商品谱仪中将这些激发源组装在同一个样品室中，成为一个多种功能的综合能谱仪。 电子能谱常用激发源 * 精品课件资料 8.2 光电子能谱仪实验技术 XPS采用能量为1000~1500ev 的射线源，能激发内层电子。各种元素内层电子的结合能是有特征性的，因此可以用来鉴别化学元素； UPS采用 16~41ev的真空光电子作激发源。 与X射线相比能量较低，只能使原子的价电子电离，用于研究价电子和能带结构的特征。 AES大都用电子作激发源，因为电子激发得到的俄歇电子谱强度较大。 * 精品课件资料 8.2 光电子能谱仪实验技术 1．Ｘ射线激发源 2. 电子能量分析器 半球型电子能量分析器 筒镜式电子能量分析器 3. 检测器 4.真空系统 * 精品课件资料 8.2 光电子能谱仪实验技术 1．Ｘ射线激发源 XPS中最常用的X射线源主要由灯丝、栅极和阳极靶构成。 X射线源的主要指标是强度和线宽，一般采用