RENA设备SOP操作流程-更换隔膜泵.pptVIP

RENA设备SOP操作流程 更换隔膜泵 * 制作:刘国柱 杨辉 审核: 2009.08.17---2009.08.22 首先设备停止进料，点击STOP键停止设备运行 * 以更换HNO3供液隔膜泵为例 点击MODE MANUAL进入手动模式 * 以更换HNO3供液隔膜泵为例 点击MANUAL进入手动操作界面 * 以更换HNO3供液隔膜泵为例 * 以更换HNO3供液隔膜泵为例 点击 etch bath，选择MODE MAN,然后按按钮” system draining把etch bath 的化学品排空 以更换HNO3供液隔膜泵为例 刻蚀槽以及tank冲洗，按下”system rinsing“冲洗（荧幕的左边）.刻蚀槽以及 tank 将被充满水开始循环，这个过程可以设定冲洗的次数（参数》第二参数，第三档位 ，位于荧幕的下边。之后将水排掉，刻蚀槽和tank将是空的（建议冲洗两次，每次循环10分钟）。 * 以更换HNO3供液隔膜泵为例 * 冲洗结束后来到外围酸房并防护用品穿好 以更换HNO3供液隔膜泵为例 * 先关闭药罐压缩空气总进气阀 以更换HNO3供液隔膜泵为例 * 然后关闭隔膜泵进药端阀门和隔膜泵出药端阀门，拆下隔膜泵与各阀门处的接头，压缩空气管接头 出药控制阀 进药控制阀 C