硅微压阻式加速度传感器的设计.docxVIP

电源招聘专家 硅微压阻式加速度传感器的设计 硅微加速度传感器是。MEMS 器件中的一个重要分支，具有十分广阔的应用前景。由于硅微加速度传感器具有响应快、灵敏度高、精度高、易于小型化等优点，而且该种传感器在强辐 射作用下能正常工作，使其近年来发展迅速。与国外相比，国内对硅微传感器的研究起步较 晚，所做的工作主要集中在硅微加速度传感器的加工制造和理论研究。文中以双端固支式硅 微加速度传感器为研究对象，借助Aasys 软件对其性能进行仿真分析，从而选出性能优良的 结 构 形 式 。 1 传 感 器 结 构 及 工 作 原 理 压阻式加速度传感器是最早开发的硅微加速度传感器，弹性元件的结构形式一般均采用微机 械加工技术形成硅梁外加质量块的形式，利用压阻效应来检测加速度。在双端固支梁结构中， 质量块像活塞一样上下运动，该结构形式的传感器示意图，如图1所示。 压 阻 式 加 速 度 传 感 器 压 阻式加速度传感器是最早开发的硅微型加速度传感器，也是当前使用较多的一种。20世纪80年代初，美国斯坦福大学的 Roylance 和 Angell 发表了 第一篇介绍硅微型加速度传感器的文章后，全硅传感器开始问世。随着对硅微型加速度计原理研究的深入以及工艺实现的多样性，硅微型加速度传感器的种类日益繁 多，各种应用于不同场合下的硅微型加速度计层出 不 穷 ， 对 硅 微 型 加 速 度 计 的 研 究