高温真空镀膜夹具的设计.docxVIP

高温真空镀膜夹具的设计 对于要求整面镀膜的大规格玻璃面板，镀膜环境为高温的情况下，采用传统夹子夹持的方法，不能满足大规格玻璃整面镀膜的需要。提出一种新的思路，并设计了新夹具解决此问题。应用玻璃基片及金属材料热膨胀系数不同的特性，设计铝合金与耐热钢组合的夹具抵消高温引起的变形，利用玻璃基片的倒边来支承玻璃。  引言  为了到达理想的镀膜效果，比方较好的防水、防刮性能，较高的膜强度以及预想的镀膜颜色等，有些膜必须要在高真空及高温环境下完成，两者缺一不可。另外，一般的滤光片、透镜等在镀膜时都会考虑到镀膜有效面积问题，因为在镀膜时玻璃基片放在镀膜夹具上，玻璃基片与夹具接触的部分必然无法镀到膜料，因此在镀膜前必须规定镀膜有效面积。  在生产中，有很多基片要求全有效面，即整个基片表面为有效镀膜面。此时，对于较小尺寸的基片，一般都是用夹子夹住基片两侧。但是对于尺寸较大的基片，特别是质量较大的基片，这种方法不再适用。  如果既是大尺寸的玻璃基片，不仅要求全有效面，又要求在高温环境中镀膜，需要设计新的夹具。具体需要解决的问题是：(1)基片：触摸屏面板，600 mm×400 mm×3 mm，长宽高公差均为±0.1 mm，镀膜面倒角为0.5°，材料为国产青板，要求整个面为镀膜有效面；(2)镀膜环境：300 ℃高温镀膜，时间为4 h。  1、夹具设计