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涡旋式真空泵现状和发展趋势分析 真空清洁、无油一直是真空业界追求的理想环境，而涡旋真空泵是一种新型的无油直排介质的机械泵，它具有动力传递简单、气体流动损失小、运行平稳、构造紧凑简单、密封性能好、消耗功率小、振动噪声低、可靠性高等优点; 研究认为真空泵的无油化对获得清洁、无油真空环境至关重要; 介绍了涡旋泵的发展历程、工作原理、构造类型以及相关厂家产品等并对涡旋真空泵的发展趋势开展了分析。 1、涡旋式真空泵的发展历程  20 世纪80 年代初，Coffin DO 将涡旋真空泵应用在高真空系统中。涡旋真空泵的研究始于20 世纪80 年代末期。1988 年，日本东京大学的Morishita E研制了抽速为200 L /min 的立式自转型油润滑涡旋真空泵，与公转型涡旋真空泵相比，该泵的径向间隙具有易于密封和控制的优点。而涡旋泵与旋片泵相比，具有更高的容积效率，泵内的振动和噪声水平都有所降低。此外，由于其构造更紧凑，整机重量和体积分别减少了12%和40%。Morishita E 的研究说明了涡旋真空泵的高效性，并对如何消除余隙容积、控制间隙等提出了有效方法。  随着涡旋真空泵在半导体行业中应用的不断扩大，人们开始致力于干式涡旋真空泵的研究。干式涡旋真空泵与油润滑涡旋真空泵的区别在于泵腔内不含任何的油类和液体。因此解决泵内的密封和冷却问题，是干式涡旋真空泵研究的关键。1990 年，Kushiro T研制了抽速为600 L /min 的卧式干式涡旋真空泵，该泵可以到达的极限真空度为5 × 10-3 Torr(Torr与Pa等真空度单位换算：http:///tools/pressure.php)。它采用水冷的方式解决泵内各部件的润滑和冷却等问题。Kushiro T 的研究说明了干式涡旋真空泵的可行性，还有效地解决了动静盘热力变形造成的相互接触及离心力造成的动盘振动等问题。虽然采用水冷方式可以有效地解决干式涡旋真空泵的冷却问题，但冷却水回路的设置使其构造更加复杂。为简化整机的构造， 1998 年，Sawada T研制了采用风冷方式开展冷却的干式涡旋真空泵，涡盘采用双侧涡圈构造，主轴上装有两个冷却风扇，分别位于两个静盘的端部，主轴转动时带动风扇一起转动，到达对涡盘的冷却效果。同时它采用了半封闭式构造，解决了电动机的冷却问题。  20** 年，我国东北大学与中国科学院***科学仪器研制中心联合研制了该类型的干式涡旋真空泵，并于20** 年初通过了国家真空设备质量检测中心的鉴定。此外，BOC 公司也推出了一种采用风冷方式开展冷却的干式涡旋真空泵，该泵采用全封闭式构造，涡盘为单侧涡圈构造，冷却风扇安装在静盘的端部。它最大的特点在于动盘与机架之间通过金属波纹管开展连接，波纹管构造提供了密封作用以及防止动盘自转的作用。在涡旋真空泵中，波纹管工作时则处于运动的状态，它必须具有较好的柔性。但目前市场上的金属波纹管大多柔性缺陷。为此，研制出合适的金属波纹管是这一构造有效应用于干式涡旋真空泵的重要前提。  世界上涡旋真空泵的核心技术和主要生产厂家集中在美国、日本以及欧洲少数发达国家。干式涡旋真空泵在国内的发展尚处于起步阶段，产品主要依赖进口。这一状况主要是由于技术、产品价格等原因造成。为了改变产品依赖进口的现状，真空技术网(http:///)认为必须研究易于加工且高效可靠的干式涡旋真空泵。 2、涡旋真空泵的原理、构造特点、类型及应用领域 2.1、涡旋真空泵的工作原理  涡旋真空泵的工作腔是由一对型线共轭的涡旋盘副啮合安装组成。涡旋盘就是在盘面开有一个或几个渐开线螺旋槽的涡旋型盘状构造体。一个静涡旋盘与一个动涡旋盘相互交错组装在一起，动、静盘之间由防自转机构保证180°相位差，这样组成的一对涡旋盘副构成了无油涡旋真空泵的抽气机构。静涡旋盘与动涡旋盘彼此之间在几条直线( 在横截面上是几个点) 上接触形成几对月牙形封闭腔，动涡旋盘在曲轴的驱  动下绕静涡旋盘的涡旋体中心运动，接触点沿涡旋曲面移动实现吸气、压缩与排气。在电机的带动下，曲轴每转一圈，就有一组新的月牙封闭腔形成，从而实现涡旋真空泵的吸气、压缩、排气循环，对被抽气体形成包容和强制输送。 2.2、涡旋真空泵的构造类型  2.2.1、公转型  公转型是一个涡旋固定不动( 称为静涡旋) ，另一个绕着它公转平动( 称为动涡盘) ，动涡盘由曲柄轴驱动，密封点位置随主轴同步转动。它整体构造简单、零件少、涡旋回转线速度小、机械磨损少，但需开展平衡设计。涡旋真空泵利用最外侧涡圈包容气体形成封闭吸气腔。为了减少涡盘末端和进气口之间的流导，常将进气口设在涡旋盘外圈末端附近。同时为了保证中心压缩腔中的气体在排气过程中尽量排走，一般将排气