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新一代太阳能集热板真空镀膜生产线系统的开发 本文介绍了新一代太阳能集热板真空镀膜生产线系统组成及其主要构造的特点。该系统制备的集热板选择性吸收涂层具有良好的光热性能、力学性能和耐候性能；提高集热板光热效率和涂层的使用寿命并实现了集热板集热涂层生产的环保化和连续化，对平板集热器的发展和应用具有极大的推动作用。  在国内城市建筑物中真空管产品在安装高度、公共安全、管道、质量以及市容建设等方面遇到的瓶颈问题日益突出。世界各国都力图将太阳能与建筑密切结合，寻求外形美观，布局合理，管理规范的太阳能与建筑一体化的设计。平板集热器具有承压性、双循环系统、易于与建筑结合，提供更多的生活热水等自身优势。同时，平板集热器在系统使用寿命、系统维护等方面比全玻璃真空集热管具有明显优势。因此，国外发达国家(北美、北欧及夏威夷地区) 平板太阳能集热器占市场的90%以上，把平板集热器作为建筑材料实现太阳能利用与建筑一体化。  目前，国内太阳能集热市场正逐渐承受这一理念，这促进了平板太阳能集热器的广泛使用和对太阳能光谱选择性吸收涂层集热板芯的需求。例如，**20** 年的一些奥运比赛场馆采用的就是平板太阳能集热器，就是以突出太阳能利用和环保与建筑一体化为鲜明标志。  国内平板集热器板芯吸收涂层的制备工艺从简单喷涂发展到选择性的硫化铅，金属氧化处理。但与真空镀膜相比，其工艺复杂，手工操作多，工艺设计或生产控制不当，废液处理容易造成一定程度的环境污染。现有的间歇式单体真空镀膜是一炉一炉地生产，这种方式生产效率低，真空技术网(http:///)认为更重要的是各炉之间生产的膜层色泽一致性、稳定性差。  目前，国外采用电子束蒸发的方法将钛和石英在电子射线枪的作用下被汽化，汽化物在参加氮和氧后发生化学反应生成氮氧化钛，最后在金属铜带上沉积冷凝而成涂层。这种集热薄膜主要生产在铜基体条带上(1200×50000×0.3 mm)，制造平板集热器板芯时需要对条带开展切割，同时在每个翼片的反面通过超声波焊接排管，一方面焊接过程中破坏膜层性能，另一方面在整个板芯组焊过程中造成膜层的二次污染，影响集热板芯的集热效率。  当前，国内外还没有采用连续式真空镀膜技术生产和制备平板太阳能集热器选择性涂层，现有平板太阳能集热器集热膜层的性能(吸收率、发射率、耐候性)与国际同类产品有一定差距，尤其是在大气环境下长期使用的耐候性方面更明显，生产过程造成环境污染。采用连续式太阳能集热板真空镀膜生产方式替代传统、有环境污染的电镀生产方式或单室间歇式镀膜方式，以提高集热膜层在大气中使用的耐候性能及集热性能为目的的膜层、膜系研究和设备构造的研制，是当前太阳能集热器光谱选择性吸收膜层研究、生产和发展的主要方向。 1、涂层的制备工艺及系统的构造形式  该系统采用磁控溅射技术、中频溅射技术、离子源表面活化等技术，在平板太阳能集热器整板芯片上反应沉积铝—氮—铝反应系列和二氧化硅叠加的光谱选择性吸收膜层，解决产品生产过程的环境污染问题和提高集热芯片的集热性能、涂层的附着力和耐候性能。涂层的构造采用：SiO2/AlN/(LMVF)Al-N/(HMVF)Al-N/Al(Cu)，其中：HMVF 是金属粒子体积比较高的吸收层，而LMVF 是金属粒子体积比较低的吸收层。即在铜、铝或者铜铝复合整板芯片上沉积铝或铜为基膜，在此根底上反应溅射沉积两层不同成分和金属含量吸收膜层，最后沉积AlN 和SiO2 介质增透、保护层。系统包括依次连接的上片台、防尘加热室、进片室、进片过渡室和进片缓冲室、至少一个沉积高反射率金属层镀膜室、至少两个沉积金属含量不同的吸收层镀膜室、至少一个沉积减反射层镀膜室、至少一个沉积保护层镀膜室、出片缓冲室、出片过渡室、出片室、下片台，抽空系统和传动机构。采用模块式构造设计，可根据吸收膜层的构造、生产节拍的要求，增加镀膜区各个镀膜室的数量。系统的构造如图1 所示。  1.上片台；2.温度调节；3.进片阀门；4.进片隔离阀；5.芯片表面活化装置；6- 进片区；601.进片室；602.进片过渡室；603.进片缓冲室；7.镀膜区；701.高发射金属层镀膜室；702、703.金属含量不同的吸收层镀膜室；704.减发射层镀膜室；705.保护层镀膜室；8.扩散泵；9.出片区；901.出片缓冲室；902.出片过渡室；903.出片室；10.罗茨泵；11.出片隔离阀；12.出片阀门；13.下片台；14.机械泵；15.前级阀；16.防尘加热室  图1 系统构造图 2、系统的主要特点  系统采用模块式构造，水平卧式传送太阳能集热板整板芯片的方式、采用专有的防尘加热构造和控制、采用专用的充气管构造向镀膜腔充入工作气体和等离子体光谱检测装置、离子