分子泵保养与使用和维修手册.doc

一、分子系的内部构造 高真空接口 60．球型轴承 前级真空接口 61．半径方向防震垫圈 冷却水连接 排气接口 轴向防震垫圈 电视单元 5．电气连接 65．0-圈 6．橡胶底座 72．0-圈 10．转子 73．0-圈 10 a．转子中心毂 80．锁紧著 14．安装螺帽 81．0-圈 16．USIT 接头 82．润滑油包 58．螺丝 83．0-圈 59 螺帽 84．油包安装环 二、分子泵的清洗： 一般来讲，假设说前级泵没有问题，而真空在规定的时间内没有到达规定的真空值或者有漏气〔排解其它的漏气〕、或着解吸附作用降低，说明真空泵有点脏了，需要进展清洗，这时不用 进展拆卸就可以直接进展清洗，假设太脏的