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小型涡轮分子泵动叶片设计与制造技术分析 本文从构造设计角度分析了叶片轴向高度h、节距a、叶片角α、叶片数z、叶片厚度δ 等构造参数对压缩比的影响，并基于分析结论提出了薄叶片分子泵叶轮的设计思想;采用有限元计算分析涡轮分子泵运行时叶片的应力状态，获知叶片工作时产生的应力几乎与叶片厚度无关，从而为薄叶片的设计提供在强度理论方面的支持;最后，通过工艺优化，试制出薄叶片的小型涡轮分子泵，该试制件在测试中转速到达了60000 rpm，使用效果良好。  涡轮分子泵是一种高真空获得设备，用于提供清洁的高真空环境，在电子工业、光学工程、表面科学等领域获得广泛应用。小型涡轮分子泵以其体积小，质量轻，功耗少等优势，常用于要求真空度而不强调抽速的设备或仪器中，比方作为质谱分析仪与检漏仪的真空获得设备。  涡轮分子泵以叶轮组作为其抽气的执行机构，叶轮组由交替排列的动、静叶轮组成，工作时动叶轮高速旋转，其速度接近分子热运动速度，而静叶轮保持静止。本文针对某小型分子泵应用需求，对其动叶轮的设计与加工成型技术开展了研究。 1、叶片设计  涡轮分子泵的抽气特性主要表达为泵的抽速和压缩比，而泵的压缩比与叶轮级数成指数关系，增加叶轮级数可大大提高泵的压缩比。工业设计中，一般希望各级叶轮的叶片轴向高度h 尽量小，这样使得有限空间内可放置尽量多列的叶轮，从而获得更高的压缩比。对于动叶轮，叶片轴向高度h 主要由节距a 和叶片角α 确定的(忽略叶片厚度影响)，即如式(1)。  图1 叶片几何参数示意图  叶片间的节距近似等于叶顶圆周长与叶片数z 的商。因此叶片轴向高度可写为下式：  根据式(2)可见，增加叶片数或减小叶片角均可有效的降低叶片轴向高度h，并且叶片角的减小还可以增大单级叶轮的压缩比，从而使泵的整体压缩比提高。叶片角与压缩比关系如图2所示，图2 中数据的计算条件为：轮圆周速度与分子热运动速度比为C1= 0.5，节弦比a/b = 1。  图2 叶片角与压缩比关系(C1= 0.5,a/b = 1)  然而，直接增加叶片数z 或减小叶片角α 会导致叶轮的有效吸气面积降低，从而影响抽速。有效吸气面积计算公式为：  由式(3)可见，有效吸气面积随叶片数z 的增加或叶片角α 的减小而减小，但随叶片厚度δ的减小而增加。因此，若希望增加叶片数或减小叶片角来降低叶片轴向高度，同时又不希望牺牲有效吸气面积，则需要减小叶片的厚度。通常情况下，涡轮分子泵的各级叶轮的叶片角度由上游向下游逐渐减小，以获得最优的抽气性能。本研究中设计了叶片角度不同的三种叶轮，其叶片角度分别为40°，30°，20°，它们的具体构造与性能参数如下表所示。  表1 不同构造参数叶轮比较 2、叶片应力分析  分子泵叶轮的材料通常采用铝合金，其弹性模量取70 GPa，泊松比为0.33。计算叶片角为30°但叶片厚度不同的两个叶轮在60000 rpm 下转动的应力状态，它们的叶片厚度分别为0.6 mm和0.3 mm。  图3 0.6mm 叶片动叶轮应力分析图4 0.3mm 叶片动叶轮应力分析  计算结果如图3 与图4 所示。从图中可以看到，0.6 mm 的叶片在60000 rpm 转速下的最大应力出现在叶片的叶根附近，为30.4 MPa;而0.3 mm 的叶片在同样转速下，最大应力也出现在叶根附近，为30.7 MPa。可见，在同一转速下两种叶片的最大应力基本相等且位置相同。这是因为，叶轮转动所产生的载荷力为惯性力，而惯性力与质量成正比，在叶片厚度减小使截面面积比例下降时，叶片的质量也以同样比例下降，因此所产生的应力基本不变。  基于以上分析可知，叶片工作时产生的内应力几乎与叶片厚度无关，因此基本可以认为叶片的强度条件也与叶片厚度无关，而主要依赖于叶片材料自身的强度。所以减小叶片厚度不会造成高速旋转下的叶片强度条件的下降，这为薄叶片的设计提供了强度理论方面的支持。 3、叶片制造工艺研究  一种动叶轮的构造如图5 所示，其加工难度主要表达在：①叶轮虽为对称构造，但具有空间扭转面。②叶轮转速较高，需要到达较高的动平  衡等级才能保证稳定运行。这要求运动零部件具有尽量小的残余不平衡量，因此对叶轮的加工精度提出了很高的要求。但减薄后的叶片其构造刚度较低，加工中易发生弯曲变形，从而影响加工精度。③叶轮的叶片间距非常小(30°叶轮其叶根处间距仅2.5 mm)，需要使用微细加工刀具。针对叶轮构造的复杂性，设计了两种技术方案：一种方案是采用三轴加工中心同时设计一旋转工装，完成叶轮的铣削;另一种方案是直接采用五轴加工中心铣削成型。  本文试制不同构造的叶轮时，采用的是五轴数控高速