椭圆偏振光法测定介质薄膜的厚度和折射率.docxVIP

实验报告 ——6 系 04 级 李季 P实验题目： 椭圆偏振光法测定介质薄膜的厚度和折射率 实验目的： 了解椭偏仪测量薄膜参数的原理，初步掌握反射型椭偏仪的使用方法。实验原理： 椭圆偏振光经薄膜系统反射后，偏振状态的变化量与薄膜的厚度和折射率有关，因此只要测量出偏振状态的变化量，就能利用计算机程序多次逼近定出膜厚和折射率。参数? 描述椭圆偏振光的 P 波和 S 波间的相位差经薄膜系统关系后发生的变化，? 描述椭圆偏振光相 对振幅的衰减。有超越方程： ? E ?  ? E ? tan ? ? ???pr ? ???pi ? ??E ? ? ??? ?sr ? ? ? E s?i ?? ? ?? pr sr ? ? ?? pi si 1 为简化方程，将线偏光通过方位角 ? 45? 的 4 波片后，就以等幅椭圆偏振光出射， E ? E pi si ； 改 变 起 偏 器 方 位 角 ? 就 能 使 反 射 光 以 线 偏 振 光 出 射 ， ? ? ?? pr ? ? ?? 0 ? 或? ，公式化简为： sr tan? ? E ? ? ? ?? E ?pr sr ? ? ? 实验仪器： pi si 分光计、He-Ne 激光器及电源 、起偏器 、检偏器 、 1 波片，待测样品、黑色反光镜、 4 放大镜等； 实验内容： 按调分光计的方法调整好主机. 水平度盘的调整. 光路调整. 检偏器读数头位置的调整和固定. 起偏器读数头位置的调整与固定. 1/ 4 波片零位的调整. 将样品放在载物台中央,旋转载物台使达到预定的入射角 70 0 即望远镜转过 40 0 ,并使反射光在白屏上形成一亮点. 为了尽量减小系统误差,采用四点测量. 将相关数据输入“椭偏仪数据处理程序”，经过范围确定后，可以利用逐次逼近法，求出与之对应的d 和 n ;由于仪器本身的精度的限制，可将d 的误差控制在 1 埃左右，n 的误差控制在 0.01 左右. 14 波片放置角度 1 4 波片放置角度 n A（ ? ） P（ ? ） 45? — 45? 1 77．7 13．9 2 103．0 105．5 3 75．3 80．5 4 101．2 166．4 将表格中数据输入“椭偏仪数据处理程序”，利用逐次逼近法，求出与之对应的厚度d 和折射率n 分别为 d=117nm；n=2.33 误差分析： 实验测得的折射率理论值偏大，其可能原因有： 待测介质薄膜表面有手印等杂质，影响了其折射率。 在开始的光路调整时，没有使二者严格共轴，造成激光与偏振片、1/4 波片之间不是严格的正入射，导致测量的折射率与理论值存在偏差。 消光点并非完全消光，所以消光位置只能由人眼估测，所以可能引入误差。 思考题： 1．1 / 4 波片的作用是什么？ 答：1/ 4 波片使得入射的线偏振光出射后为等幅的椭圆偏振光，从而出射光的 P 分量和 S 分量比值为一，进而使超越方程变得简单。2．椭偏光法测量薄膜厚度的基本原理是什么？ 答：基本原理是：让一束椭圆偏振光以一定的入射角射到薄膜系统的表面，经反射后， 反射光的偏振状态（振幅和相位）会发生变化，而这种变化与薄膜的厚度和折射率有关，只要能测量出偏振状态的变化量就能定出膜厚和折射率。 3．用反射型椭偏仪测量薄膜厚度时，对样品的制备有什么要求？ 答：样品应为均匀透明各向同性的薄膜系统，而且 当光束入射到平行平面薄膜上时，会产生多条反射光和透射光，形成的是多光束的干涉。当要利用反射光线时，应要求样品是低反射率的，从而使上下表面首次反射的光线强度基本相等。 为了使实验更加便于操作及测量的准确性，你认为该实验中哪些地方需要改进？ 答：本实验是利用传统的消光法来测量，但在实验中只用眼睛去判断消光位置，这会引起较大误差，我认为可以用精度较高的光电接收器来进行判断。