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无线传感器制作和基于表面声波识别标签的温度测量 摘要 本文基于表面声波（SAW识别标签无线传感器标记系统，拟议解决方案完全兼容现有的测量 系统，可直接用于在传感器或通过一个独特的方法用传感器识别电缆（原文如此）。 SAW标签的运 作完全是被动的，并可以承受的温度高达 400摄氏度以及冲击达到 35000m/s2。它包含一个唯一的序 列标识号，它是通过金属反射光栅高温编码在稳定 SAW器件上。审讯单位使用的感应电缆传输但不 直接连接到它，从而识别系统，可被用于高阻抗的测量设备，例如电荷放大器。审讯频域基于众所 周知的雷达原则产生，而以低成本的附加电路评估和现有的传感器电路实现。 此外，只要加强评价软 件，SAW标签本身进行温度测量，从而对传感器或传感器环境通常无需额外的硬件要求，这是可以 做到的。 1导言 个体识别测量传感器的往往有要求的，特别是在在传感器经常更换的试点或在他们 需要个人校准数据时，例如在用于内燃机测试块案例。当前首要的问题，表面声波器件 基本原则及其审讯被显示。 1.1压力传感器识别 一种商业的，可用AVL实现的，用识别标签装备的压力感应器显示在图 1中。图2显 示了这种传感器的典型应用，直接接触发动机的燃烧室，在其中的压力能进行测量。为 了能够鉴定这种传感器，利用了表面声波识别备（身份证）标签。那个查验的目的是自 动分配正确的校准数据，并显示操作时间，特别是有用的结合温度传感器的监测。随着 感应器内放置身份标签，不需要小心的安装的连接器即可以断开电缆和重新连接计算单 元。这减少了设置时间，防止由故障线路及不正确的校准数据所引起的测量误差。 图.1. 配备了声表面波标签识别的商业 AVL压力传感器照片 对于第三方传感器不能直接装有这种标记技术，传感器识别电缆的开发，延伸传感 器自动检测到应用领域也就是不同厂商在传感器的使用之处。 在燃烧内的恶劣环境引擎的识别标记已能够承受温度高达 400摄氏度的温度，以及 变温，震动和高速。这样的恶劣环境不包括在基于传统的半导体器件的识别解决方案。 图2.发动机燃烧室的横断面，那里的压力能被测到。声表面波传感器标记在预热塞附近。 新的解决方案，必须符合现有的制度，即没有额外的应增加生产线并且那些， 连 接到敏感的电荷放大器非常高的隔离生产线也要保留。 另一项要求是机械与现有的感应 器的兼容性，即编号标记必须足够小，以适应整个 AVL专感器系列，绝不能增加很大的 成本。高温稳定表面声波鉴定标签与在微波变动中用问询单元的操作结果作为选择的解 决方案,只要他们符合上述所有标准。 1.2声表面波基础知识 基于物理的压电效应，一个SAW器件包含一个有金属结构的压电晶片 （指间换能 器（IDT）,反射镜和耦合光栅）被放置在它的纯抛光表面 [1]（另见图3）。 图3 SAW传感器的审讯一般组态 由于压电效应影响电子信号在 一个IDT会刺激机械波沿标记的表面的传播。反之, 一个微声波在一个IDT抵达导致电荷分布，从而电信号在IDT内的终端出现。 SAW器件的一个重要特征是波传播速度范围从 3000到5000米/秒，这是比在真空 光速下降5个数量级。这使得微秒范围的变动的延迟时间在更小芯片尺寸范围内实现 [2]。大多使用的波类型是古典 Rayleigh波，漏表面声波（LSAW ），表面横波（STW）.） 典型的基底材料是一种石英单晶体， 钽酸锂（LiTaO3）,和铌酸锂（LiLTbOs晶体）。 石英，例如：展品温度敏感性几乎为零，而且铌酸锂另一方面具有低损失 [3]。同材料的 相对于晶轴方向的影响减少了基体参数。由于IDT结构和上述材料在带的宽度上从数微 米到亚微米尺寸，故其技术应用涵盖了频率可从约 30 MHz至3 GHz范围变动。 传统的SAW器件用于实行延时线，谐振器，滤波器和 振荡器电视接收器，移动通信 单 位或更多。此外，表面声波设备非常适合建设物理和化学低成本的传感器， 并作为识 别标签的应用。过去SAW器件的特点是能在短距离内无线询问他们。 1.3无线审讯的SAW标签 无线审讯的声表面波传感器主要特点是他们完全被动的运作。图 3显示了一个典型 的配置，组成审讯单元和附加天线表面波传感器 由审讯装置发送请求信号，由接收天线和在 IDT中转换成表面声波IDT是沿着 SAW器件传输的。反射镜部分的将声波后传到 IDT，在理想情况下，重新传输的延迟 和衰减覆盖请求信号，这根据反射阵地和传播速度的 表面声波设备。这取决于材料特 性 和环境条件，例如：温度，这个可以归纳的温度延迟系数 。因此，往返延迟审讯信 号时间来设置正确选择反射位置，而这可以实现使用，例如：编码 ID信息。温度 在传 播速度取决于变化 可以用来确定设备的温度 同时，只要双方的影响可以分开毫不含 糊。 从系统理论的角度来看