年产xx套半导体清洗设备项目可行性研究报告.docx

泓域咨询/年产xx套半导体清洗设备项目可行性研究报告  年产xx套半导体清洗设备项目 可行性研究报告 xx（集团）有限公司  报告说明 清洗机是将晶圆表面上产生的颗粒、有机物、自然氧化层、金属杂质等污染物去除，以获得所需洁净表面的工艺设备。从工艺应用上来说，清洗机目前已广泛应用于集成电路制造工艺中的成膜前/成膜后清洗、等离子刻蚀后清洗、离子注入后清洗、化学机械抛光后的清洗和金属沉积后清洗等各个环节。 根据谨慎财务估算，项目总投资32068.14万元，其中：建设投资25109.73万元，占项目总投资的78.30%；建设期利息280.56万元，占项目总投资的0.87%；流动资金6677.8