一种基于厚膜陶瓷电容的微位移传感器.ppt

一种基于厚膜陶瓷电容的 微位移传感器;提 要;变间隙式电容传感器原理及结构示意图;微位移传感器的芯片与外形结构设计;传感器电容芯片的电极示意图;理论仿真分析;结构设计及其优化;电容芯片的电极版图（部分节选）;二、厚膜电容式微位移传感器的研制;传感器工艺研究;（1）两电极初始间隙（δ） ;极板间距δ的计算;（2）电极面积（电极直径） ;电容芯片包括陶瓷盖板（厚）和弹性膜片，均选用96%Al2O3陶瓷材料； 电容芯片的上下电极由（Pd-Ag）导体浆料印刷、烧结而成，导电性能优良而且其热膨胀系数低、温度系数小； ;传感器工艺条件与传感器性能间关系;电容芯片的厚膜印烧工艺流程;厚膜隧道烧结炉;三、信号处理电路设计与优化;容转压专用芯片;CAV414容转压芯片工作原理图;电路原理图;信号处理电路（2008版） ;信号处理电路（2009版） ;信号处理电路（2010版） ;四、微位移传感器性能优??;传感器的非线性分析与补偿;边缘效应引起的非线性;边缘效应造成传感器边缘电场畸变，使工作不稳定，非线性误差增加 ;克服边缘效应造成传感器边缘电场畸变； 增加性能稳定性，减小非线性误差。;边缘效应的消除方法;寄生电容干扰的排除;提高传感器的温/湿度稳定性;处理电路的厚膜集成化;五、微位移传感器性能检测与结果分析; ;微纳操作平台;已取得的成果;不同时期的厚膜电容芯片;不同阶段的厚膜电容传