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第六章 电子束与离子束加工 第1页，共30页，编辑于2022年，星期一 第一节 电子束加工 一、电子束加工原理和特点 1、原理 经电磁透镜聚焦的高能电子束流在真空条件下直接轰击工件表面，使加工区域材料熔化和气化从而实现加工 第2页，共30页，编辑于2022年，星期一 2、特点 1）电子束加工属于精细加工 ； 2）加工范围广 ，加工质量好； 3）生产率高； 4）加工过程易于实现自动化； 5）适合加工易氧化金属和合金材料及纯度要求高的材料； 6）需专用设备和真空系统，价格昂贵。 第3页，共30页，编辑于2022年，星期一 二、电子束加工装置 组成： 电子枪 阴极、控制栅极、加速阳极、光栅、电源 真空系统 控制系统 电磁透镜、偏转线圈、工作台控制 电源 第4页，共30页，编辑于2022年，星期一 电子束运动轨迹 第5页，共30页，编辑于2022年，星期一 电子束在电磁透镜中受力 第6页，共30页，编辑于2022年，星期一 三、电子束加工应用 第7页，共30页，编辑于2022年，星期一 三、电子束加工应用 1、窄缝加工 第8页，共30页，编辑于2022年，星期一 三、电子束加工应用 2、曲面加工 第9页，共30页，编辑于2022年，星期一 三、电子束加工应用 3、刻蚀 第10页，共30页，编辑于2022年，星期一 三、电子束加工应用 4、焊接 第11页，共30页，编辑于2022年，星期一 三、电子束加工应用 5、电子束熔炼 电子束熔炼法发明于1907年﹐但直到50年代才用于熔炼难熔金属﹐后来又用于熔炼活泼金属(如Ti锭)和高级合金钢 电子束加热可使材料在真空中维持熔化状态并保持很长时间﹐实现材料的去气和杂质的选择性蒸发﹐可用来制备高纯材料。 电子束加热是电能转为热能的有效方式之一﹐大约有50％功率用于熔化和维持液化。 80年代已生产出600千瓦级的电子枪。如需更大功率﹐可用几支电子枪同时工作。利用电子束加热可铸造100吨的坯料 第12页，共30页，编辑于2022年，星期一 三、电子束加工应用 7、电子束曝光 是一种利用电子束辐射效应的加工方法 电子束光刻应用主要包括四个方面: 电子束扫描曝光；电子束直写；电子束图形发生器制作中间掩模版；电子束缩小投影曝光 电子束光刻技术的发展历程如下:1968年，日本电子公司研制成功第一台扫描电子束光刻机；1975年，美国贝尔公司开发出光栅扫描式电子光刻机；1978年日本电子公司研制出可变矩形束电子束光刻机；1979年，美国IBM公司首次进行了电子束缩小投影曝光实验；1995年，日本NTT公司采用电子束曝光技术首先研制出1GDRAM 第13页，共30页，编辑于2022年，星期一 第二节 离子束加工 一、离子束加工原理、分类及特点 （一）、原理 在真空下，离子源产生的粒子束经过加速聚焦，使之打到工件表面 离子：带正电荷、质量大 机械撞击能 第14页，共30页，编辑于2022年，星期一 （二）、离子束加工分类 按利用的物理效能和达到的目的分： 离子刻蚀 离子溅射沉积 离子镀 离子注入 第15页，共30页，编辑于2022年，星期一 1、离子刻蚀 用氩离子加速轰击攻坚，将工件原子逐个剥离，实现加工 第16页，共30页，编辑于2022年，星期一 2、离子溅射沉积 用离子轰击靶材，是靶材原子被击出，沉积并镀覆在工件表面上 第17页，共30页，编辑于2022年，星期一 3、离子镀 离子在轰击靶材的同时还轰击攻坚，是镀膜更加牢固 第18页，共30页，编辑于2022年，星期一 4、离子注入 用高能量粒子直接击入工件表面，令工件表面改性 第19页，共30页，编辑于2022年，星期一 （三）、离子束加工特点 1、最精密、最细微的加工方法-纳米级0.001?m； 2、适合加工易氧化金属和合金材料及纯度要求高的材料； 3、加工应力、热变形小，加工质量高，适合加工各种材料和低刚度零件加工； 4、加工设备贵，成本高，加工效率低。 第20页，共30页，编辑于2022年，星期一 二、离子束加工装置 与离子束加工装置类似：离子源、真空系统、控制系统和电源 不同：离子源系统 第21页，共30页，编辑于2022年，星期一 第六章 电子束与离子束加工