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锐隆® 白光轮廓仪 玖兆光科电子科技有限公司 白光轮廓仪 系统构成 à 上位机： - 使用Windows 系统 à 下位机： - 使用Linux 系统 à 测量模块： - CCD相机 - 筒镜 - 倾斜台 - 伺服电机 - 显微干涉物镜 - 电动载物台 白光轮廓仪基于光的干涉原理，使用宽光谱白光光 源照明，通过干涉条纹计算被测物体的表面轮廓。 白光光源 相干长度 较短 右图为白 光干涉条 纹的空间 分布特性 采样 距离 信号强度 干涉条纹分布与被测物体 非球面测试中的白光干 表面形貌有关 涉图样 条纹辅助识别功能 原始图像 条纹识别结果 台阶评价功能 单边台阶评价 A h B 双边台阶评价 W/3 W/3 W/3 C h A B W W W 182nm 台阶 （标称值182.7nm ±2.0nm）测量结果 拼接功能 待拼接MEMS结构 拼 接 结 果 截 面 图 正弦反射镜阵列拼接结果 案例1 光纤端面测量 光纤端面显微影像 光纤端面干涉图样 白光轮廓仪能够完成光纤端面形貌测 量及分析。测量结果垂直方向分辨率 0.1nm ，水平分辨率0.92μm （10倍干涉物镜 光纤样品 下）。纤芯形貌重复性误差小于0.5nm 。 光纤端面3D 测量结果 光纤端面轮廓线分析 案例2 标准片局部测量 案例3 超精密机械零件测量 白光轮廓仪可 用于检测航空发动 机和汽车零部件等 超精密结构，并对 其表面形貌特征、 平整度、曲率、粗 糙度等参数进行评 定。 零件表面轮廓线 案例4 铝膜反射测量