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泓域咨询/年产xx套机械设备项目可行性研究报告
年产xx套机械设备项目
可行性研究报告
xxx有限责任公司
报告说明
常用来代表刻蚀效率的参数主要有:刻蚀速率、刻蚀剖面、刻蚀偏差和选择比等。刻蚀速率指刻蚀过程中去除硅片表面材料的速度;刻蚀剖面指的是刻蚀图形的侧壁形状,通常分为各向同性和各向异性剖面;刻蚀偏差指的是线宽或关键尺寸间距的变化,通常由横向钻蚀引起;选择比指的是同一刻蚀条件下两种材料刻蚀速率比,高选择比意味着不需要的材料会被刻除。
根据谨慎财务估算,项目总投资34078.66万元,其中:建设投资27083.97万元,占项目总投资的79.47%;建设期利息762.07万元,占
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