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泓域咨询/北京刻蚀设备项目可行性研究报告
北京刻蚀设备项目
可行性研究报告
xx集团有限公司
报告说明
刻蚀技术按工艺分类可分为湿法刻蚀和干法刻蚀，其中干法刻蚀是最主要的用来去除表面材料的刻蚀方法，湿法刻蚀主要包括化学刻蚀和电解刻蚀。由于在湿法刻蚀技术中使用液体试剂，相对于干法刻蚀，容易导致边侧形成斜坡、要求冲洗或干燥等步骤。因此干法刻蚀被普遍应用于先进制程的小特征尺寸精细刻蚀中，并在刻蚀率、微粒损伤等方面具有较大的优势。
根据谨慎财务估算，项目总投资44500.09万元，其中：建设投资33313.57万元，占项目总投资的74.86%；建设期利息814.67万元，占项目总投资的1.
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