- 1、本文档共131页,其中可免费阅读40页,需付费1100金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
查看更多
泓域咨询/临汾机械设备项目可行性研究报告
报告说明
目前先进的集成电路制造技术中用于刻蚀关键层最主要的刻蚀方法是单片处理的高密度等离子体刻蚀技术。一个等离子体刻蚀机的基本部件包括发生刻蚀反应的反应腔、产生等离子体气的射频电源、气体流量控制系统、去除生成物的真空系统。刻蚀中会用到大量的化学气体,通常用氟刻蚀二氧化硅,氯和氟刻蚀铝,氯、氟和溴刻蚀硅,氧去除光刻胶。
根据谨慎财务估算,项目总投资30685.69万元,其中:建设投资24839.64万元,占项目总投资的80.95%;建设期利息263.46万元,占项目总投资的0.86%;流动资金5582.59万元,占项目总投资的18.19%。
项目正常
您可能关注的文档
- 东莞刻蚀设备项目可行性研究报告(模板参考).docx
- 商洛电池片项目可行性研究报告_范文.docx
- 成都纤维素醚产品项目可行性研究报告(范文参考).docx
- 彩妆项目申请报告(模板范本).docx
- 蚌埠宠物卫生清洁用品项目可行性研究报告.docx
- 承德乳制品项目可行性研究报告_模板参考.docx
- 惠州纤维素醚产品项目可行性研究报告.docx
- 营口软磁铁氧体材料项目可行性研究报告_模板范本.docx
- 荆门特高压设备项目可行性研究报告参考模板.docx
- 包头电池片项目可行性研究报告_参考范文.docx
- 人教版九年级英语全一册单元速记•巧练Unit13【速记清单】(原卷版+解析).docx
- 人教版九年级英语全一册单元速记•巧练Unit9【速记清单】(原卷版+解析).docx
- 人教版九年级英语全一册单元速记•巧练Unit11【速记清单】(原卷版+解析).docx
- 人教版九年级英语全一册单元速记•巧练Unit14【单元测试·提升卷】(原卷版+解析).docx
- 人教版九年级英语全一册单元速记•巧练Unit8【速记清单】(原卷版+解析).docx
- 人教版九年级英语全一册单元速记•巧练Unit4【单元测试·提升卷】(原卷版+解析).docx
- 人教版九年级英语全一册单元速记•巧练Unit13【单元测试·基础卷】(原卷版+解析).docx
- 人教版九年级英语全一册单元速记•巧练Unit7【速记清单】(原卷版+解析).docx
- 苏教版五年级上册数学分层作业设计 2.2 三角形的面积(附答案).docx
- 人教版九年级英语全一册单元速记•巧练Unit12【单元测试·基础卷】(原卷版+解析).docx
文档评论(0)