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泓域咨询/周口机械设备项目可行性研究报告
目录 TOC \o 1-3 \h \z \u
第一章 背景、必要性分析 7
一、 反应离子刻蚀 7
二、 离子束刻蚀 7
三、 供需两端发力，提升经济效能 8
四、 持续优化环境，提升综合实力 9
五、 项目实施的必要性 12
第二章 行业、市场分析 14
一、 高密度等离子体刻蚀 14
二、 原子层刻蚀为未来技术发展方向 15
三、 干法刻蚀是芯片制造的主流技术 18
第三章 项目总论 21
一、 项目名称及项目单位 21
二、 项目建设地点 21
三、 可行性研究
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