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高真空的获得和检漏 6 系 04 级 张浩 P实验目的： 1、用机械泵、扩散泵机组获得高真空 2、用静态升压法和氦质谱法检漏，并对比两种方法的特点. 实验原理： 1、 高真空的测量——电离真空规 具有足够能量的电子与气体分子碰撞会引起分子的电离 .产生正离子和电子，电子与分子的碰撞次数正比于分子数密度 n,即正比于总压强 p，故产生的正离子数N＋正比于压强p.规管的结构如图2.6.3-l 所示,它主要由发射电子的热阴极（灯丝）、加速并收集电子的加速极和收集离子的收集极等三部分组成.其接线 图如图 2.6.3－2 所示,规管中心热阴极 F 接零电位,为 U K 为热阴极加 热电压；加速极 G 接正电位 U （几百伏）;离子收集极接负电位 U （几十伏）, G 其作用是使由阴极 F 发射的电子,在加速电位 U G C 的作用下,飞向 G 极使电子能量 增加,大部分电子通过加速极 G 飞向圆筒型收集极 C,电子轨迹如图 2.6.3－3 所示,在 G、C 之间拒斥场的作用下电子减速，在速度减到零时，电子返转飞向 G， 在电子飞向 G、C 空间时,电子又在拒斥场作用下减速,直到速度为零又返向 G 极， 向 G、C 方向飞行.电子在这种返往运动中与气体分子不断发生碰撞，把能量传给气体分子，使其电离,而电子最终被加速极所收集；在 G、C 间产生的正离子被收集极 C 接收形