晶盛单晶炉作业指导书课件.pptxVIP

九州方圆股份有限公司;单晶作业示意图;取 晶 棒; 穿戴好劳保防护用品，认真阅读交接班记录，准备好拆炉工具。若炉子处于负压状态，打开充气阀充氩气至炉膛为正压。充气完成后，必须查看晶棒完全提升到副室后方可打开副室 注意：在“氩气真空”界面上正确设置“快充阀自动关闭压力”为大气压，炉内压力到正压后充气阀将自动关闭 3.如果晶体不能完全进入副室内，无法用安全托盘防护，则需在隔离阀室垫厚木板加以防护，防止晶棒掉下砸坏石墨件，并连炉盖一起旋转出来；如果晶体可以进入副室内，则升起副室后用安全托盘防护 ; 4.按住控制柜上“拉伸腔提升”按钮，直到副室高出炉膛顶部，碰到中途上限位开关时，可向左拨动“拉伸腔旋转”开关，自动旋开副炉室。禁止手动推副室旋转 注意：取晶棒时注意不要碰到CCD 器件 5.在晶棒下方摆好存放架后，撤掉防护木板??安全托盘，然后下降晶棒，严禁使晶棒接触到存放架。晶体离存放架底部还有 3-5mm 距离时，暂停下降，观察触摸屏上显示的晶棒重量，小心的下降晶棒，待晶棒重量刚低于5kg时，停止下降晶棒。剪断细晶前，一人扶住存放架，另一人用手（戴耐高温手套）抓住重锤（禁止抓籽晶），用斜口钳剪断细晶，不能扭断！剪完细晶后逐步释放重锤，控制好重锤旋转和晃动，防止钢丝绳跳槽或籽晶磕碰损伤 ;6.检查钢丝绳是否完好可用。若有变硬、毛刺或其他损坏情况，应立即更换 7.在