六盘水真空设备项目可行性研究报告.docx

泓域咨询/六盘水真空设备项目可行性研究报告 报告说明 集成电路是半导体的最重要组成部分，集成电路产业中晶圆制造是基础核心，其与真空镀膜息息相关，集成电路薄膜材料制造广泛采用的工艺为PVD与CVD。集成电路中所使用的薄膜产品包括电极互连线膜、阻挡层薄膜、接触薄膜、光刻薄膜、电容器电极膜、电阻薄膜等都要用到溅射镀膜工艺。近年来，中国集成电路行业不断推出新政策，随着物联网、可穿戴设备、5G等下游产业的进一步兴起，集成电路行业迎来快速发展阶段。 根据谨慎财务估算，项目总投资46205.54万元，其中：建设投资36830.52万元，占项目总投资的79.71%；建设期利息376.56万元，占项目总投资的