北海关于成立MEMS加速度计公司可行性报告_范文模板.docx

泓域咨询/北海关于成立MEMS加速度计公司可行性报告  北海关于成立MEMS加速度计公司 可行性报告 xxx有限责任公司  报告说明 MEMS即微机电系统（Micro-Electro-MechanicalSystem），是利用大规模集成电路制造技术和微加工技术，把微传感器、微执行器、微结构、信号处理与控制电路、电源以及通信接口等集成在一片或者多片芯片上的微型器件或系统。MEMS器件种类众多，主要分为MEMS传感器和MEMS执行器。MEMS传感器可以感知和测量物体的特定状态和变化，并按一定规律将被测量的状态和变化转变为电信号或者其它可用信号，MEMS执行器则将控制信号转变为微小机械运动或