临汾关于成立MEMS加速度计公司可行性报告.docx

泓域咨询/临汾关于成立MEMS加速度计公司可行性报告  临汾关于成立MEMS加速度计公司 可行性报告 xx（集团）有限公司  报告说明 20世纪90年代末至21世纪初，信息技术的兴起和微光学器件的需求推动了MEMS行业发展的第二次浪潮，MEMS惯性传感器与MEMS执行器取得共同发展。MEMS惯性传感器方面，1991年，电容式微加速度计开始被研制，1998年美国Draper实验室研制出了较早的MEMS陀螺仪。MEMS执行器方面，1994年德州仪器以光学MEMS微镜为基础推岀投影仪，21世纪初MEMS喷墨打印头出现。 xx（集团）有限公司主要由xxx有限责任公司和xx有限公司共同出资成立。