年产xxx立方米电子特种气体项目企划书【范文参考】.docx

泓域咨询/年产xxx立方米电子特种气体项目企划书 报告说明 电子气体包括大宗电子气体和电子特种气体，是集成电路、显示面板、半导体照明、光伏等行业生产制造过程中不可或缺的关键性材料，是集成电路制造的第二大制造材料，仅次于硅片，占晶圆制造成本的13%。电子特种气体主要应用于光刻、刻蚀、成膜、清洗、掺杂、沉积等工艺环节，主要分为三氟化氮等清洗气体、六氟化钨等金属气相沉积气体等。 根据谨慎财务估算，项目总投资12026.10万元，其中：建设投资9375.16万元，占项目总投资的77.96%；建设期利息136.49万元，占项目总投资的1.13%；流动资金2514.45万元，占项目总投资的20.91%。