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泓域咨询/机械设备产业园项目企划书
机械设备产业园项目
企划书
xx（集团）有限公司
目录 TOC \o 1-3 \h \z \u
第一章 项目建设背景及必要性分析 8
一、 干法刻蚀是芯片制造的主流技术 8
二、 高密度等离子体刻蚀 9
三、 扩能升级，建立现代化生态经济体系 10
四、 跨山统筹，打造市域一体化丽水样板 12
五、 项目实施的必要性 14
第二章 行业发展分析 15
一、 反应离子刻蚀 15
二、 离子束刻蚀 15
三、 原子层刻蚀为未来技术发展方向 16
第三章 总论 20
一、 项目名称及
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