材料课件二电子显微分析.ppt

第四节 扫描电镜 由于透射电镜是TE进行成像的，这就要求样品的厚度必须保证在电子束可穿透的尺寸范围内。为此需要通过各种较为繁琐的样品制备手段将大尺寸样品转变到透射电镜可以接受的程度。能否直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像，成为科学家追求的目标。经过努力，这种想法已成为现实-----扫描电子显微镜(Scanning Electronic Microscopy, SEM)。 第六十二页，共一百二十九页。 第六十三页，共一百二十九页。 JSM-6301F场发射枪扫描电镜 第六十四页，共一百二十九页。 SEM image (beetle) 第六十五页，共一百二十九页。 扫描电镜（SEM）－食盐的融化和结晶 6.7mbar(dry) 17mbar 16.9mbar 16.6mbar 6mbar(dry) 水蒸汽环境 Danilatos, G.D. (1986) Environmental scanning electron microscopy in colour. J. Microsc. 142:317-325. 第六十六页，共一百二十九页。 扫描电镜的优点是， 1 有较高的放大倍数，20-20万倍之间连续可调； 2有很大的景深，视野大，成像富有立体感，可直接观察各种试样凹凸不平表面的细微结构； 3试样制备简单； 4可同时进行显微形貌观察和微区成分分析。 第六十七页，共一百二十九页。 一、基本原理 1 阴极电子经聚焦后成为直径为50mm的点光源， 并会聚成孔径角较小，束斑为5-10m m的电子束，在试样表面聚焦。 2 在末级透镜上边的扫描线圈作用下，电子束在试样表面扫描。 3 高能电子束与样品物质相互作用产生SE，BE，X射线等信号。这些信号分别被不同的接收器接收而成像。 换言之，扫描电镜是采用类似电视机原理的逐点成像的图像分解法进行的。这种扫描方式叫做光栅扫描。 第六十八页，共一百二十九页。 二、主要结构 1 、电子光学系统 1电子枪：作用是利用阴极与阳极灯丝间的高压产生高能量的电子束。目前大多数扫描电镜采用热阴极电子枪。 2电磁透镜：作用主要是把电子枪的束斑逐渐缩小，是原来直径约为50m m的束斑缩小成一个只有数nm的细小束斑。 3扫描线圈 ：作用是提供入射电子束在样品表面上和荧光屏上的同步扫描信号。 4样品室 ：样品台能进行三维空间的移动、倾斜和转动，并安置各种型号检测器。 第六十九页，共一百二十九页。 2、 信号检测放大系统 作用是检测样品在入射电子作用下产生的物理信号，然后经视频放大作为显像系统的调制信号。 3 、真空系统和电源系统 作用是为保证电子光学系统正常工作，防止样品污染提供高的真空度。 电源系统由稳压，稳流及相应的安全保护电路所组成，其作用是提供扫描电镜各部分所需稳定电源 。 第七十页，共一百二十九页。 Secondary electron detector 第七十一页，共一百二十九页。 Specimen chamber 第七十二页，共一百二十九页。 三、主要性能 1、 放大倍数 由于扫描电镜的荧光屏尺寸是固定不变的，因此，放大倍率的变化是通过改变电子束在试样表面的扫描幅度来实现的。 如果减少扫描线圈的电流，电子束在试样上的扫描幅度将减小，放大倍数将增大。调整十分方便，可从20倍连续调节到20万倍左右。 第七十三页，共一百二十九页。 2、 分辨率 分辨率是扫描电镜的主要性能指标。 对微区成分分析而言，它是指能分析的最小区域； 对成像而言，它是指能分辨两点之间的最小距离； 分辨率大小由入射电子束直径和调制信号类型共同决定： 电子束直径越小，分辨率越高。 用于成像的物理信号不同，分辨率不同。 例如SE和BE电子，在样品表面的发射范围也不同，其分辨率不同。一般SE的分辨率约为5-10nm，BE的分辨率约为50-200nm。 第七十四页，共一百二十九页。 3、景深 景深是指一个透镜对高低不平的试样各部位能同时聚焦成像的一个能力范围。 扫描电镜的末级透镜采用小孔径角，长焦距，所以可以获得很大的景深，它比一般光学显微镜景深大100-500倍，比透射电镜的景深大10 倍。 景深大，立体感强，形态逼真是SEM的突出特点。 第七十五页，共一百二十九页。 第七十六页，共一百二十九页。 四、扫描电子显微镜的几种电子像 1、二次电子（SE）像 1）SE产额 与形貌、 原子序数、加速电压有关。