电子元件第8章压电式传感器.pptxVIP

第八章 压电式传感器; 6.1压电效应 6.2压电材料 6.3等效电路 6.4测量电路 6.5压电式传感器的应用举例 6.6影响压电式传感器精度的因素分析;8.1 压电效应 某些晶体或多晶陶瓷，当沿着一定方向受到外力作用时，内部就产生极化现象，同时在某两个表面上产生符号相反的电荷；当外力去掉后，又恢复到不带电状态；当作用力方向改变时，电荷的极性也随着改变；晶体受力所产生的电荷量与外力的大小成正比。上述现象称为正压电效应。反之，如对晶体施加一定变电场，晶体本身将产生机械变形，外电场撤离，变形也随着消失，称为逆压电效应。 ;压电式传感器大都是利用压电材料的压电效应制成的。在电声和超声工程中也有利用逆压电效应制作的传感器。压电转换元件受力变形的状态可分为图8-1所示的几种基本形式。 但由于压电晶体的各向异性，并不是所有的压电晶体都能在这几种变形状态下产生压电效应。例如石英晶体就没有体积变形压电效应。但它具有良好的厚度变形和长度变形压电效应。;图8-1 压电转换元件受力变形的几种基本形式 图8-2 石英晶体的外形和晶轴 图8-3 石英晶体压电效应示意图 图8-4 石英晶体受力方向与电荷极性的关系 图8-5 压电陶瓷的极化过程和压电原理图 图8-6 聚偏氟乙烯压电效应 图8-7 剪切力的作用方向;图8.5压电陶瓷的极化过程和压电原理图;图8.6聚偏氟乙烯压电效应;图8.7剪切力的作用方向;8.2 压电材料;8.3 等效电路;当压电元件受外力作用时，两表面产生等量的正、负电荷Q，压电元件的开路电压(认为其负载电阻为无穷大)U为 （6-11） 这样，可以把压电元件等效为一个电荷源Q和一个电容器Ca的等效电路，如图6-8(a)中的虚线方框；同时也等效为一个电压源U和一个电容器Ca串联的等效电路，如图6-8的虚线方框所示。其中Ra为压电元件的漏电阻。 图6-8 压电式传感器测试系统的等效电路;8.8压电式传感器测试系统的等效电路;6.4 测量电路;1.电压放大器 电压放大器的作用是将压电式传感器的高输出阻抗经放大器变换为低阻抗输出，并将微弱的电压信号进行适当放大．因此也把这???测量电路称为阻抗变换器。 图8-9是电压放大器的简化电路图。;2.电荷放大器 由于电压放大器使所配接的压电式传感器的电压灵敏度将随电缆分布电容及传感器自身电容的变化而变化，而且电缆的更换得引起重新标定的麻烦，为此又发展了便于远距离测量的电荷放大器，目前它巳被公认是一种较好的冲击测量放大器。;图8-9 电压放大器的简化电路图 图8-10 电压幅值比和相角频率比的关系曲线 图8-11 电荷放大器等效电路 图8-12 电荷放大器原理框图;图8.9电压放大器的简化电路图;图8.10电压幅值比和相角频率比的关系曲线;图8-11 电荷放大器等效电路;图8-12 电荷放大器原理框图;8.5 压电式传感器的应用举例;图8-13 压电式单向测力传感器;图8-14 压电式压力传感器;8.5.1 压电式测力传感器 8.5.2 压电式加速度传感器 图8-15 消除振动加速度影响的压电式压力传感器结构 图8-16 压电式加速度传感器结构原理图 ;图8-15 消除振动加速度影响的压电式压力传感器结构;图8-16 压电式加速度传感器结构原理图;8.6影响压电式传感器精度的因素分析 8.6.1非线性 压电传感器的幅值线性度是指被测物理量(如力、压力、加速度等)的增加，其灵敏度的变化程度。 8.6.2横向灵敏度 压电加速度传感器的横向灵敏度是指当加速度传感器感受到与其主轴向(轴向灵敏度方向)垂直的单位加速度振动时的灵敏度，一般用它与主轴向灵敏度的百分比来表示，称为横向灵敏度比。;8.6.3环境温度的影响 环境温度的变化对压电材料的压电常数和介电常数的影响都很大，它将使传感器灵敏度发生变化，压电材料不同，温度影响的程度也不同。当温度低于400℃时，其压电常数和介电常数都很稳定。 8.6.4湿度的影响 环境湿度对压电式传感器性能的影响也很大。如果传感器长期在高湿度环境下工作，其绝缘电阻将会减小，低频响应变坏。;6.6.5电缆噪声 为了减小这种噪声。可使用特制的低噪声电缆，同时将电缆固紧，以免产生相对运动。 6.6.6接地回路噪声 在测试系统中接有多种测量仪器，如果各仪器与传感器分别接地，各接地点又有电位差，这便在测量系统中产生噪声。防止这种噪声的有效办法是整个测量系统在一点接地。而且选择指示器的输入端为接地点。;影响压电式传感器精