[材料分析测试]第5章 电子显微分析-透射.pdfVIP

第5章 电子显微分析 本章要点： 1.了解电子显微镜分析的物理基础理论； 2.熟悉电子显微镜的基本构造和成像理论； 3.掌握电子显微镜形貌、结构和成分分析方法； 4.重点掌握扫描电子显微镜的形貌分析方法 和波谱、能谱成分分析方法. 前言 什么叫电子显微分析？ 利用高能的电子束作为照明源，利用电 子束与样品物质交互作用，产生的物理信号 束来分析材料的显微组织、微区结构及化学 成分的方法。 电子显微分析包括： 用扫描电子显微镜进行的扫描电子显微分析； 用透射电子显微镜进行的透射电子显微分析；