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- 2022-08-28 发布于天津
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合成三氯氢硅的操作规程
单位: 国电宁夏太阳能
有限公司员工
目 录
一 氢气的制备与净化
二 液氯的汽化
三 氯化氢的合成
四 三氯氢硅的合成
1 三氯氢硅的性质
2 氯化合成三氯氢硅的合成
3 三氯氢硅合成的工艺条件
4 三氯氢硅的工艺流程图
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