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第三章薄膜制造技术
光学薄膜可以采用物理汽相沉积（PVD）和化学液相沉积（CLD）两种工艺来获得。CLD工艺简单，制造成 本低, 但膜层厚度不能精确控制，膜层强度差，较难获得多层膜，废水废气对环境造成污染，已很少使用。
PVD需要使用真空镀膜机，制造成本高，但膜层厚度能够精确控制，膜层强度好，目前已广泛使用。PVD分为 热蒸发、溅射、离子镀、及离子辅助镀等。
制作薄膜所必需的有关真空设备的基础知识
用物理方法制作薄膜，概括起来就是给制作薄膜的物质加上热能或动量，使它分解为原子、分子或少数几个原子、 分子的集合体（从广义来说，就是使其蒸发） ，并使它们在其他位置重新结合或凝聚。
在这个过程中，如
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