等离子体控制技术行业市场调研报告.pdf

等离子体控制技术行业市场调研报告 目 录 CONTENT 行业发展概述 行业市场分析 1 3 An Overview Of The Annual Work Successful Proj ect Display 行业发展环境 行业现状分析 2 4 Work Completion Next Years Work Plan 行业前景分析 5 Next Years Work Plan 01 行业发展概述 P r o f e s s i o n a l p r e s e n t a t i o n t e m p l a t e 在温度不断升高的状态下，物质获得能量供应后将从固态变为液态，再由液态过渡为气 态。若温度继续升高时，气体获得更多能量后其分子将分离成原子，原子核周围的电子 将和原子分离产生正电荷离子和负电荷电子，即发生电离现象。电离可促使气体进入高 能的等离子状态，因此带电离子的气体被称为等离子体。等离子体是物质的状态之一， 等离子态的物质具有类似气体的流动性和扩散性。由于等离子体是由带电的离子组成的 物质，因此也具有导电性和导热性。等离子体控制技术是指控制等离子体电流、形状、 位置及密度的相关技术: （1）等离子体电流、形状和位置的控制原理是采用罗氏线圈、 01 磁探针和磁通环作为传感器，将获得的数据进行复杂的拟合和位置反演，从而获得等离 子体电流、形状和位置的实时信息。在反演过程中再通过控制算法与目标值进行比较， 得到反馈，并将反馈通过控制命令输入到执行器后，对线圈电流进行控制，线圈电流的 改变会引起作用到等离子体上的磁场的改变，进而可操控等离子体和线圈以及等离子体 周围的被动结构的相互作用从而实现对等离子电流、形状和密度的控制； （2）等离子体 密度的控制原理是通过激光干涉技术测量出实时等离子体密度后，采用PID控制器和常规 压电阀送气技术，控制注入主等离子体的气体分子量，从而实现对等离子体密度的控制。 在等离子体辅助制造工业中，等离子体控制技术可控制等离子体的电流、形状、位置和 密度，具有可控性、灵活性、刻蚀均匀性和各向异性等特点，被广泛用在离子体聚合表 行业定义