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太阳电池背表面钝化;为什么背表面钝化越来越重要;各种钝化技术的结果;;;Al2O3薄膜的退火特性 改变长钝化特性;退火改变化学钝化特性;表面电荷的作用区域;各种条件制备的Al2O3膜的电荷特性;Al2O3表面负电荷的来源;不同衬底上的Al2O3膜的少子寿命随注入水平的变化;轻掺杂n-Si表面镀膜;重掺杂p-Si表面镀膜;P-Si的钝化;原子层沉积设备;ALD的工艺流程;实验室设备ALD工艺流程;1. ALD技术简介;Al2O3背表面钝化面临的挑战;
P-Si;;;在P型硅上的寄生漏电的计算;;
P-Si;结论;谢 谢
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