宜宾光刻机零部件项目建议书.docx

泓域咨询/宜宾光刻机零部件项目建议书 报告说明 目前我国半导体零部件产业尚处于起步期，核心零部件仍然依赖进口。根据芯谋研究，目前石英、喷淋头、边缘环等零部件国产化率达到10%以上，射频发生器、MFC、机械臂等零部件的国产化率在1%-5%，而阀门、静电吸盘、测量仪表等零部件的国产化率不足1%。通用零部件的国产化率低，主要原因在于通用零部件的设计和生产要求高，国内加工商通常难以满足要求，由于我国半导体设备发展还未成熟，在通用零部件的采购上 根据谨慎财务估算，项目总投资14520.40万元，其中：建设投资10840.34万元，占项目总投资的74.66%；建设期利息111.34万元，占项目总投资的0.