光栅尺标定系统的设计及仿真.docx

近年来，由于航空航天工业、集成电路制造、纳米科学研究等领域的迅速发展[1]，各种精密位移测量仪器层出不穷。激光干涉仪和光栅尺测量系统是能够同时满足大量程和高分辨率的位移测量手段[2]，其中光栅尺是以光栅栅距为测量基准的位移测量系统，在光栅栅线方向上的位移表达式是关于栅距的函数，在垂直方向上的位移表达式是关于波长的函数，因此光栅尺受环境影响较小。同时，光栅尺拥有测量光程短，形成的测量光路对称等优点。近年来，光栅尺已成为超精密位移测量领域中的研究热点。 位移测量系统的标定是设计、制造和使用位移测量系统的一个重要环节，任何位移测量系统在制造、装配完毕后都必须对设计指标进行标定试验[3]，这是对位移测