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泓域咨询/半导体设备零部件研发产业园项目可研报告
报告说明
半导体零部件是半导体设备的重要组成，核心零部件作为半导体设备的主要组成部分，与半导体材料、EDA软件共同支撑着半导体产业链中设计、制造、封测等环节，从而支撑全球经济数字化进程。半导体核心零部件与半导体原材料一样，尽管市场规模不大，却决定了半导体设备的核心构成、主要成本、优质性能等。目前分类标准主要有以下两种。按照集成电路设备腔体流程划分，可分为五大类：电源和射频控制类、气体输送类、真空控制类、温度控制类、传送装置类。
根据谨慎财务估算，项目总投资766.95万元，其中：建设投资549.99万元，占项目总投资的71.71%；建设期利息1
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