基于VO2热相变的光子晶体波导开关.docx

近年来，光子晶体微腔结构[1]因具有高品质因数、易于设计等优点而受到越来越多的关注，广泛应用于通信、传感器领域。由于硅(Si)具有较高折射率，能够实现光学器件在小体积上大规模集成，并且与互补金属氧化物半导体(complementary metal oxide semiconductor, CMOS)有良好的兼容性，因此被认可为是极有前途的光子学材料。硅的热光系数(thermo-optic coefficient)较高，常被用作制造光学温度传感器[2-3]。然而，这一温度敏感特性也导致硅光子器件在温度不稳定环境下的应用受到限制，如波分复用系统中的光滤波器[4]。以纯硅环形谐振滤波器为例，即使环境